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Case Study: Excelitas Technologies × DRAMET
Optisches Glas für die Chipfabriken der Welt
Excelitas Deutschland GmbH, Sitz Göttingen
Photonik / Halbleitertechnik / Präzisionsoptik
Diamantbandsäge BS422 A
Zuschnitt optischer Glaskomponenten für Lithografie-Systeme
Über Excelitas Technologies
Der Standort Göttingen von Excelitas Technologies ist ein globales Kompetenzzentrum für Photoniklösungen – insbesondere für die Halbleiterindustrie. Hier entstehen hochpräzise optische Komponenten, Module und Systeme für Lithografie, Waferinspektion und Chipfertigung. Die gefertigten Glaslinsen finden ihren Weg in die weltweit führenden EUV- und DUV-Lithografieanlagen eines niederländischen Technologieunternehmens – Systeme, ohne die moderne Chipproduktion schlicht nicht möglich wäre. Betrieben werden diese Anlagen von den bedeutendsten Chipherstellern der Welt: TSMC, Samsung und Intel.
Kurz gesagt: Das Glas, das in Göttingen zugeschnitten wird, steckt in den Maschinen, die die Chips in Ihrem Smartphone, Laptop und Auto herstellen.
Auf einen Blick
Excelitas Deutschland GmbH, Sitz Göttingen
BS422 A Diamantbandsäge
Optisches Glas, verschiedene Geometrien
Ausschussreduktion, Prozessstabilisierung
Präzisionsoptik für Lithografieanlagen – verbaut bei den führenden Chipherstellern weltweit
Die Herausforderung: Glas schneiden auf Halbleiter-Niveau
Glas ist ein extremer Werkstoff. Es ist spröde, bricht ohne plastische Verformung und reagiert auf kleinste Belastungsspitzen mit Mikrorissen, Ausbrüchen (Chipping) und Kantenfehlern. Hinzu kommt: Glas ist wärmeempfindlich. Zu viel Wärme beim Trennen riskiert thermische Schäden – in einem Bauteil, das später in einem Lithografiesystem mit Nanometer-Toleranzen arbeiten soll.
Für Excelitas bedeutete das beim Zuschnitt konkret:
- Sehr glatte Schnittkanten ohne Ausbrüche oder Mikrorisse
- Hohe Ebenheit und Parallelität der Schnittflächen
- Reproduzierbare Scheibendicken für die nachfolgenden Fertigungsstufen
- Minimaler Materialverlust durch schmale Schnittfuge – bei hochwertigem optischen Glas direkt kostenrelevant
- Effektive Kühlung und niedrige Wärmeeinbringung im gesamten Prozess
Warum DRAMET?
Excelitas wurde über eine gezielte Internetrecherche auf DRAMET aufmerksam. Im Auswahlprozess überzeugten drei Faktoren:
Eine schmale Schnittfuge bedeutet weniger Materialverlust – bei optischem Spezialglas ein unmittelbar wirtschaftlicher Vorteil.
Die intuitive Bedienung der BS422 A ermöglicht einen sicheren, reproduzierbaren Betrieb unabhängig vom individuellen Bediener.
Konstante Schnittparameter, automatische Vorschubkraftregelung und transparente Anzeige in Echtzeit schaffen die Basis für eine gleichbleibend hohe Teilequalität.
Die Lösung: BS422 A im Serieneinsatz
Die Diamantbandsäge BS422 A übernimmt bei Excelitas den Zuschnitt der Glasrohlinge – als erster Schritt in einer Prozesskette, deren Endprodukt in Präzisionssysteme mit Nanometer-Anforderungen einfließt.
Was in der Praxis überzeugt:
Die automatische Regelung der Schnittparameter macht den Prozess stabiler, reproduzierbarer und weniger bedienerabhängig. Die Anzeige der realen Vorschubkraft am Touchscreen schafft Transparenz und macht Prozessschwankungen sofort sichtbar – ein entscheidender Faktor für Qualitätssicherung und Bedienersicherheit.
Die Kapselung der Maschine und das gezielte Kühlschmierstoff-Konzept sorgen dafür, dass KSS-Aerosole nicht in den Arbeitsbereich gelangen. Der Bediener ist geschützt, die Arbeitsumgebung sauber.
Ergebnisse
„Die Maschine sorgt durch stabile Prozessparameter, eine präzise Vorschubkraftregelung und reproduzierbare Schnittbedingungen für eine konstant hohe Qualität. Dadurch werden Abweichungen deutlich reduziert und die Wiederholgenauigkeit im Serienprozess zuverlässig gewährleistet.“
— Matthias Amm, Teamleader Optics, Excelitas Technologies
- Spürbare Reduktion von Ausschuss und Nacharbeit
- Kürzere Rüstzeiten durch intuitive Bedienung
- Stabilere Abläufe und gesteigerte Prozesssicherheit
- Effizientere Fertigung insgesamt
Die Zusammenarbeit
„Die ehrliche und offene Kommunikation zwischen DRAMET und Excelitas war besonders positiv.“
— Matthias Amm, Excelitas Technologies
DRAMET ist im gesamten Projektverlauf flexibel auf Änderungen und Kundenwünsche eingegangen. Praxisnahe Schulung, gute Erreichbarkeit des Serviceteams und schnelle Umsetzung von Anpassungswünschen werden von Excelitas besonders hervorgehoben.
Empfehlung
„Wir können DRAMET aufgrund der Flexibilität in der Projektplanung sowie der hohen Prozessstabilität der Maschine weiterempfehlen.“
— Matthias Amm, Teamleader Optics, Excelitas Technologies
Fazit
Was in Göttingen als Zuschnitt von Glasrohlingen beginnt, endet als Linse in einem Lithografiesystem, das die Chips für die modernsten Geräte der Welt produziert. Diese Prozesskette funktioniert nur, weil jeder Schritt – auch der erste – auf höchstem Qualitätsniveau ausgeführt wird.
Die BS422 A von DRAMET liefert dafür die Grundlage: präzise, stabil und reproduzierbar.